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    ZKY-III型真空度測(cè)試儀應(yīng)用和技術(shù)指標(biāo)

    發(fā)布時(shí)間: 2023-07-28  點(diǎn)擊次數(shù): 630次

    ZKY-III型真空度測(cè)試儀應(yīng)用和技術(shù)指標(biāo)

     

    主要特點(diǎn)

    ★基于電離電荷的采樣技術(shù)

    ZKY-III型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

    ★漏電電流的處理

    對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

    ★內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線

    真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專(zhuān)家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入ZKY-III系列產(chǎn)品。因此,ZKY-III系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。

    這是國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中*的。

    ★完善的輸入保護(hù)電路

    當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。ZKY-III的信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)(重新開(kāi)機(jī)即可),也不會(huì)造成電路部分的損壞。

    技術(shù)參數(shù)

    ▲測(cè)量范圍: 1*10-5~1*10-1pa

    ▲測(cè)量誤差: l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5%

    ▲測(cè)量分辨率: 10-5pa

    ▲允許環(huán)溫: O℃~55℃

    ▲空氣濕度: <85%RH

    ▲電 源: AC220士10%

    ▲外型尺寸: 430X300X235mm

    關(guān)鍵詞:真空度測(cè)試儀,真空度測(cè)試儀,真空度測(cè)試儀

    使用說(shuō)明

    ZKY-III型真空度測(cè)試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元,測(cè)試過(guò)程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法,而采用離子電荷來(lái)做標(biāo)定。這樣,在物理原理上有更好的準(zhǔn)確性,而且,有效地抑制了測(cè)試過(guò)程中脈沖電源的干擾,使測(cè)試穩(wěn)定可靠。該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流,并且在測(cè)量過(guò)程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別,真正做到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前,該儀器中已存有26條真空滅弧室的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)曲線,涵蓋了國(guó)內(nèi)外絕大多數(shù)管型。

    該儀器質(zhì)量可靠,造型美觀,使用方便。

     

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